Godkända
Optimizing FinFET Geometry using a Chemical Mechanical Polishing Process
Paul Böhm ()
Start
2024-09-04
Presentation
2025-05-30
Plats:
Avslutat:
2025-06-07
Examensrapport:
Sammanfattning
Handledare: Avinas Shaji (EIT) och Erik Lind (EIT)
Examinator: Johannes Svensson (EIT)
